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晶圆瞄准单机

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晶圆瞄准机是实现系统微型化和系统更高集成度的要害工艺 装备，主要用于实现 2 片疏散晶圆的准确瞄准、堆叠。

未找到响应参数组，请于后台属性模板中添加

基底尺寸：4/6/8 英寸

瞄准方法：MARK 瞄准 / 边沿瞄准

瞄准精度：±2um

 

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