可插拔式平行电极，便于调解间距
；

触摸屏 +PLC 控制
；

自动模式下可同时存储 50 组差别的配方
；

质量流量计控制（标准设置 2 路）
；

主要元器件接纳入口，性能稳固
；

自动射频调解及负载匹配
；

动态监控，
；さ轿，清静可靠
；

一键式操作，简朴易懂
。

反应仓尺寸（mm）：L500xW500xH400

频率：13.56MHz

射频功率（W）：0~600 可调

真空度（Pa）：10~50

电源及功率：AC380V,<4KWA

0351-6520879