适用硅片： 18X±0.5mm*18X±0.5mm至230±0.5mm*230±0.5mm或182mm*105mm（半片），

单晶硅片，方片/准方片/矩形片；

硅片厚度：≥110μm

产能：≥17000Pcs/H，≥32000Pcs/H（半片）       

碎片率：≤0.01%；

不良比例：1、错槽、双片不可有；2、插片整齐度：误差≤2mm

兼容花篮：  182：240×240×710mm或 230：280×290×710mm

实现硅片双片、隐裂和碎片的检测、剔除

四通道设计产能高

Uptime≥99%；

0351-6520879