硅片尺寸： 182-230mm（方片及半片）

硅片厚度： 120-200µm

产能：12道≥16000Pcs/H ，10道≥13000Pcs/H，半片≥32000Pcs/H       

碎片率：182尺寸≤0.02%；220尺寸≤0.03%

不良比例：1、错槽、双片不可有；2、PL与EL不良之和≤0.02%

插片整齐度：误差≤2mm

兼容花篮：  182：240×250×700mm或230：272×272×700mm

高精度机械人搬送花篮

碎片率≤0.01%  Uptime≥99%；

0351-6520879